Localidad: Madrid (Madrid)

SALA BLANCA

INSTITUTO DE CIENCIA DE MATERIALES DE MADRID

El Servicio General de la Sala Blanca del Instituto de Ciencia de Materiales de Madrid (ICMM-CSIC) está concebido como un Servicio Intercentros dentro del Campus de Excelencia CSIC-UAM, que además cuenta con usuarios externos, principalmente de grupos pertenecientes a centros de la Comunidad de Madrid. La instalación de este laboratorio comenzó en 2011, estando en la actualidad en marcha prácticamente todas sus técnicas de micro-nanofabricación. Actualmente la sala blanca es de clase 10000 y está dotada con las siguientes técnicas y facilidades (algunos aportados por distintos grupos de investigación del ICMM).

- Caja seca de 4 guantes con control de humedad y oxígeno hasta 1ppm. Dentro de la caja seca hay un sistema de spin-coating integrado.
- Evaporadora para metales y grafito.
- Sistema de depósito por sputtering con un magnetrón.
- Fotolitografía UV con resolución de 0.8 micrómetros.
- Spin-coating
- Cabina de flujo laminar
- Equipo de deposición de chapas atómicas (ALD)

Prestaciones de servicio ofertadas por la unidad